|
|
赶快注册并登录访问我们网站,呈现更多精彩内容!
您需要 登录 才可以下载或查看,没有帐号?注册加入
x
半导体是现代电子业的基础,业包括我们热爱的音响业。下面详细展示了Intel从沙子到芯片的全过程,满足你的好奇心。
# S/ i1 {) B. U% s8 B/ D! s4 t不知道发到这个版块是否合适,不合适的话请版主迁移~~{:soso_e181:}
2 z5 G# E* N. o( h# D! \2 j* p0 U! B( }
简单地说,处理器的制造过程可以大致分为沙子原料(石英)、硅锭、晶圆、光刻(平版印刷)、蚀刻、离子注入、金属沉积、金属层、互连、晶圆测试与切割、核心封装、等级测试、包装上市等诸多步骤,而且每一步里边又包含更多细致的过程。
# Y0 B$ b; N2 b7 y
2 ^4 V+ u2 ?9 `# }/ q; L下边就图文结合,一步一步看看主要的过程:
$ i; G I0 W. x! _- V) u" }% I6 |6 l+ ^3 B3 I
沙子:硅是地壳内第二丰富的元素,而脱氧后的沙子(尤其是石英)最多包含25%的硅元素,以二氧化硅(SiO2)的形式存在,这也是半导体制造产业的基础。# d# x: D2 C6 f1 ?0 i
0 @3 s; r7 L1 B8 j% m) C& p
' |# V& ]/ j' J. ?1 \- M% w/ n1 w2 | \7 i$ i7 @4 X. g; B/ k
硅熔炼:12英寸/300毫米晶圆级,下同。通过多步净化得到可用于半导体制造质量的硅,学名电子级硅(EGS),平均每一百万个硅原子中最多只有一个杂质原子。此图展示了是如何通过硅净化熔炼得到大晶体的,最后得到的就是硅锭(Ingot)。( ^4 D6 n/ q0 X% b4 u( d- c
; [: n; E7 C2 h6 O" y" M, o, t; O. f; y/ B
! B7 l% ], b; |# L! o( ] z8 b
单晶硅锭:整体基本呈圆柱形,重约100千克,硅纯度99.9999%。- r4 m9 k5 O$ _5 Y: }( Y6 U
1 @9 W% N! `4 R9 w
: G0 d* P4 o7 [8 F; @' v1 g0 U; J+ ^( H2 w7 ~
硅锭切割:横向切割成圆形的单个硅片,也就是我们常说的晶圆(Wafer)。顺便说,这下知道为什么晶圆都是圆形的了吧?
0 m3 v% T" j8 R3 a4 Y, F
; b5 }0 w- }5 r* v
, u( x$ T6 t& g, g* M
晶圆:切割出的晶圆经过抛光后变得几乎完美无瑕,表面甚至可以当镜子。事实上,Intel自己并不生产这种晶圆,而是从第三方半导体企业那里直接购买成品,然后利用自己的生产线进一步加工,比如现在主流的45nm HKMG(高K金属栅极)。值得一提的是,Intel公司创立之初使用的晶圆尺寸只有2英寸/50毫米。
4 |/ `' I, H' o P! M
/ S. L5 ~" c8 O) W
, C! o- I2 J6 D( c
$ s+ H( w- p2 R. i+ P2 P) I光刻胶(Photo Resist):图中蓝色部分就是在晶圆旋转过程中浇上去的光刻胶液体,类似制作传统胶片的那种。晶圆旋转可以让光刻胶铺的非常薄、非常平。
% Z% | ~* y W3 {' H
& E, [7 }( M* ^) e, s. I/ x
3 ^7 j0 ?4 ?2 |, v6 j3 y p7 j光刻一:光刻胶层随后透过掩模(Mask)被曝光在紫外线(UV)之下,变得可溶,期间发生的化学反应类似按下机械相机快门那一刻胶片的变化。掩模上印着预先设计好的电路图案,紫外线透过它照在光刻胶层上,就会形成微处理器的每一层电路图案。一般来说,在晶圆上得到的电路图案是掩模上图案的四分之一。
8 P0 f8 `0 N* b
3 l6 U; `! J/ d& p8 a
# h0 ^* [# P9 y: n7 s
; U3 z. Q( M- ? Q A
光刻二:由此进入50-200纳米尺寸的晶体管级别。一块晶圆上可以切割出数百个处理器,不过从这里开始把视野缩小到其中一个上,展示如何制作晶体管等部件。晶体管相当于开关,控制着电流的方向。现在的晶体管已经如此之小,一个针头上就能放下大约3000万个。 D5 z$ \/ E) S1 `- W
5 z/ s5 e h2 N" [4 A6 c
. ?) G& W6 Q0 I) ]
( `* c% ]( y/ X& N2 l* \5 A/ T溶解光刻胶:光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉,清除后留下的图案和掩模上的一致。! b" {3 x1 R2 t2 ^) O
t% C. D* J3 U0 Q. ]# }# b
3 T' |( ?8 \, C u; K1 X; J2 @2 s( c& j* r* {
蚀刻:使用化学物质溶解掉暴露出来的晶圆部分,而剩下的光刻胶保护着不应该蚀刻的部分。
* J B& m' r4 x/ U \4 k4 c3 C/ r2 E
8 X/ v1 X2 t& Y% T1 l! ]+ O. L3 Q$ }/ [# s$ s" P+ [( H
, [9 ~ T! K3 q" Z; d) M清除光刻胶:蚀刻完成后,光刻胶的使命宣告完成,全部清除后就可以看到设计好的电路图案。
& E" V+ s2 M/ f, G( ^
# d; V6 j* `! O- K$ l( Q4 p: }- T$ [' f# Z
光刻胶:再次浇上光刻胶(蓝色部分),然后光刻,并洗掉曝光的部分,剩下的光刻胶还是用来保护不会离子注入的那部分材料。
# c; S& u! M* V2 [# R2 D
- Z: u4 N/ t" l; h8 z+ `$ R$ C" l4 G0 _9 P4 Q, a3 _
: K$ ` i& t. \' x0 T4 p0 A
离子注入(Ion Implantation):在真空系统中,用经过加速的、要掺杂的原子的离子照射(注入)固体材料,从而在被注入的区域形成特殊的注入层,并改变这些区域的硅的导电性。经过电场加速后,注入的离子流的速度可以超过30万千米每小时。
2 `: h [3 N& q' i4 y0 z
T; d. A% p: Z, y: Z \- u6 }9 O9 ^3 Z! f" w( M7 f. ~
' Z1 x" m& @ n/ X+ d清除光刻胶:离子注入完成后,光刻胶也被清除,而注入区域(绿色部分)也已掺杂,注入了不同的原子。注意这时候的绿色和之前已经有所不同。! d6 {7 V3 G# ?% }5 {
: S& p; Y( c7 c- u: q+ Y4 |
9 w$ O9 v t( X- R0 \: w4 k- J晶体管就绪:至此,晶体管已经基本完成。在绝缘材(品红色)上蚀刻出三个孔洞,并填充铜,以便和其它晶体管互连。8 T, `. O. y2 N& u& T
% W3 z- l0 e1 h5 [" g
3 u, k5 v& E- l+ A: }* s2 c
# b) Z( D' I. e' ^" p& |电镀:在晶圆上电镀一层硫酸铜,将铜离子沉淀到晶体管上。铜离子会从正极(阳极)走向负极(阴极)。
% X4 A, k: n+ W1 u2 A5 o
- ^0 D, i; T5 v4 H9 ?
% Q7 q6 \/ p: R; A9 D3 D8 G
) t, e5 y0 C- O4 X3 A& u铜层:电镀完成后,铜离子沉积在晶圆表面,形成一个薄薄的铜层。
$ y5 z# Y" r0 x) F: I& J
0 h/ T: {! @7 T* b6 v- Z) h
9 p$ w9 W; A9 o- A, p2 P) R
9 O$ P0 O) |. B7 c/ h
抛光:将多余的铜抛光掉,也就是磨光晶圆表面。; b0 d4 B+ H; e# T
* b- c8 u- H9 @9 b! X$ q
8 z w- } E3 f! l
* v- W9 C* p5 A6 R) D# v金属层:晶体管级别,六个晶体管的组合,大约500纳米。在不同晶体管之间形成复合互连金属层,具体布局取决于相应处理器所需要的不同功能性。芯片表面看起来异常平滑,但事实上可能包含20多层复杂的电路,放大之后可以看到极其复杂的电路网络,形如未来派的多层高速公路系统。( z; K# j# J/ @: @0 m
- ]+ C$ T. E+ \# z1 l' w% c2 I
/ F6 F; D; E- {1 Q7 ^
/ M1 f4 l. v/ @, M5 ^# f8 _晶圆测试:内核级别,大约10毫米/0.5英寸。图中是晶圆的局部,正在接受第一次功能性测试,使用参考电路图案和每一块芯片进行对比。$ z7 f7 a- d4 Y! |! V- U) S
|
评分
-
查看全部评分
|